真空镀膜设备的选购及在线检测

来源:林上 发布时间:2019/05/23 16:08:04 浏览次数:207
镀光学薄膜的真空镀膜机可以安装光密度在线测试仪LS152,用来连续监控镀膜在线生产的产品质量.提高真空镀膜设备生产线上的工作效率.

  真空镀膜设备主要由真空腔、抽气系统、蒸发系统、成膜控制系统等组件构成的。另外,镀光学薄膜的真空镀膜机还可以配置安装光密度在线检测系统,林上生产的光密度在线测试仪LS152,是专业用于真空镀铝膜、真空磁控溅射镀太阳膜等光学薄膜生产线上的在线检测设备。

光密度在线测试仪

  真空镀膜设备被广泛应用于建材、五金、钟表、光学、电子、玩具、汽车等行业上。尤其镀制光学薄膜,被广泛应用到各光电系统及光学仪器中,如数码相机、数码摄像机、能量控制、光通讯、望远镜、投影机、显示技术、微机电系统、信息工业、激光的制作、照明工业、传感器、建筑玻璃、汽车工业等等。

  真空镀膜设备的选购要点分析如下:
  1、炉体可选择由不锈钢、碳钢或组合制成的双层水冷结构。
  2、根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备,其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、多弧离子镀等。
  3、真空系统由机械泵、扩散泵、罗茨泵、油增压泵、增扩泵、埚轮分子泵等以及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。
  4、夹具运转形式有自转、公转以及公转+自转方式,用户根据基片的尺寸和形状提出相应的要求,转动的速度范围及转动精度:普通可调及变频调速等。
  5、根据工艺要求选择镀制方式及形式,如电阻蒸发(钨丝、钼舟、石墨舟)磁控源(同轴圆柱型磁控源、园柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)以靶材材质及尺寸多弧源(Ф60,Ф80直径靶材,气动、电动的引弧等),真空测量可选择数字式智能真空计及其优质的测量规管,及其它测量仪器,如自动压强控制仪等。膜厚测量可选用方块电阻测量仪,透过率计等。
  6、充气方式可选用质量流量计、浮子流量计+针阀及相应的充气阀门,并可选择多路充气管路及相应流量参数。
  7、完善的报警系统,对真空室体、扩散泵断相、缺水、气压、电源负载的过压、过流等异常情况进行声光报警。
  8、根据需烘烤的结构提出烘烤温度、材质以及所需配备相应仪表测量。
  9、根据设备使用特点,可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。

  由于镀制光学薄膜最为广泛,所以真空镀膜设备适合选择光密度在线测试仪LS152,用来连续监控镀膜在线生产的产品质量。生产产品出来后通过光源探测光谱中薄膜的可见光透光率来判断镀膜厚度的均匀性。从而提高真空镀膜设备生产线上的工作效率。

标签: 在线测试仪
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